案例展示
苏州协鑫光伏科技有限公司项目概述
苏州某半导体制造厂，其为环保能源供货商，主要生产光伏发电之原材料单晶硅片，于切片车间大量之非线性负荷 - 切片机已对400 V之供电系统造成严重谐波畸变问题，其电能质量不佳问题将影响切片机使用寿命、制造精度失准，严重影响产品制程良率，并增加制造成本及额外损耗。
图1 半导体制造厂车间
改善方案
建议方案为装设2套NCSF 5th谐波滤波器，可降低供电系统之电压失真率，有效提升切片车间之电能质量，改善切片机运行问题及提升产品制程良率。
NCSF谐波滤波器主要特色：
大幅改善系统谐波电流含量与谐波电压失真率
针对特定谐波改善效果可达80 %以上
补偿系统无效功率改善功率因数
有效降低系统谐波损耗
图2 NCSF谐波滤波器柜体图
改善效果
谐波滤波器于2011年5月4日投运迄今，投运后大幅改善系统之5th谐波电流，于系统主回路改善前后之电能质量量测数据，如表1所示。
表1 系统改善前后之效果汇整表
图3 改善前系统电压与电流波形
图4 改善后系统电压与电流波形
图5 改善前后总谐波电流失真率历时图