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案例展示

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中芯国际集成电路制造(北京)有限公司项目概述

北京某半导体芯片制造厂,企业成立于2000年,于上海、北京与天津皆拥有芯片代工制造厂,北京制造厂主要为生产200 mm芯片之代工厂,可生产从 0.35 微米至 0.13 微米的芯片。随着市场之庞大需求与生产线设备之急遽成长,其厂内供电系统之无效功率需求亦大幅增长,因此,为提高配电变压器容量之利用率以及降低其视在电流,须装设无功补偿设备提高其功率因数。



图1 半导体芯片制造厂

改善方案

采用102面NCSD调谐滤波器补偿系统功率因数,同时可有效避免系统发生谐波共振之风险。


NCSD调谐滤波器主要特色:


  1. 补偿系统功率因数
  2. 可有效避免发生系统谐波共振现象
  3. 具自动功率因数控制器,可分段投切,随系统所需之无效功率输出



图3 NCSD调谐滤波器柜体图

改善效果

NCSD运行后,于系统主回路改善前后之量测数据,如表1所示。


表1 系统改善前后之效果汇整表




图3 改善前后功率因数历时图